ICP-MS全稱是電感耦合等離子體質譜（Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry），它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器。 ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的射頻信號在線圈包圍區域形成高溫等離子體，并通過氣體的推動，保證了等離子體的平衡和持續電離，在ICP-MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子。質譜是一個質量篩選器，通過選擇不同質荷比（m/z）的離子通過并到達檢測器，來檢測某個離子的強度，進而分析計算出某種元素的強度。